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化学气相沉积(CVD)

OTF-1200X-III-RR 卷对卷 CVD 薄膜生长炉

型号OTF-1200X-III-RR

连续进料 CVD 炉使柔性基材经过三个加热区,配独立放卷、收卷腔体及可调张力控制。

工作温度 连续 1100 °C;1200 °C 使用少于 60 分钟
加热区 150 + 300 + 150 mm
石英管 外径 100 × 长 1400 mm
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

工作温度 连续 1100 °C;1200 °C 使用少于 60 分钟
加热区 150 + 300 + 150 mm
石英管 外径 100 × 长 1400 mm
走带速度 1–400 mm/min
张力调节 0–1000 g

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

产品详情

订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件,供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。