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薄膜沉积设备

RF-300I-LD 自动匹配 13.56 MHz 射频发生器

型号RF-300I-LD

风冷射频发生器,自动阻抗匹配,输出最高 300 W,适合实验室溅射系统搭建。

输出功率 5–300 W
射频频率 13.56 MHz
功率稳定度 ±1%
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
设备特点

主要产品特点

  • 输出功率: 5–300 W

  • 射频频率: 13.56 MHz

  • 功率稳定度: ±1%

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

输出功率 5–300 W
射频频率 13.56 MHz
功率稳定度 ±1%
频率稳定度 ±0.005%
匹配方式 可变电容自动匹配
外形尺寸 400 × 450 × 80 mm

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

请与 LabSova 确认靶材、基片尺寸、供电、真空泵、冷却及气体要求。选配部件及实验室配套条件需另行确认。