薄膜成膜装置
RF-300I-LD 13.56 MHz RF Generator with Automatic Impedance Matching
モデルRF-300I-LD
An air-cooled RF generator with automatic matching for laboratory sputtering setups, providing adjustable output up to 300 W.
Output power
5–300 W
RF frequency
13.56 MHz
Power stability
±1%
- 最終構成は見積前に確認
- 用途に応じてカスタムと付属品を確認
- 輸出梱包と書類は必要に応じて対応
設備の特徴
主な製品特徴
-
Output power: 5–300 W
-
RF frequency: 13.56 MHz
-
Power stability: ±1%
技術データ
技術仕様
仕様はシステム別に整理され、設備タイプごとに重要なパラメータを表示します。
Key specifications
| Output power | 5–300 W |
|---|---|
| RF frequency | 13.56 MHz |
| Power stability | ±1% |
| Frequency stability | ±0.005% |
| Matching | Automatic variable-capacitor matching |
| Dimensions | 400 × 450 × 80 mm |
仕様は構成やカスタム内容により変更される場合があります。最終データは確認済み見積に従います。
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
発注前に調達条件を確認できます。
要件を確認
海外購入者向けに、構成、付属品、梱包方法、輸出書類、検査写真または動画、出荷条件を見積確認に含められます。
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