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Equipamentos de deposição de filmes finos

RF-300I-LD 13.56 MHz RF Generator with Automatic Impedance Matching

ModeloRF-300I-LD

An air-cooled RF generator with automatic matching for laboratory sputtering setups, providing adjustable output up to 300 W.

Output power 5–300 W
RF frequency 13.56 MHz
Power stability ±1%
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Recursos do equipamento

Principais recursos do produto

  • Output power: 5–300 W

  • RF frequency: 13.56 MHz

  • Power stability: ±1%

Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Output power 5–300 W
RF frequency 13.56 MHz
Power stability ±1%
Frequency stability ±0.005%
Matching Automatic variable-capacitor matching
Dimensions 400 × 450 × 80 mm

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.