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Equipos de deposición de películas delgadas

RF-300I-LD 13.56 MHz RF Generator with Automatic Impedance Matching

ModeloRF-300I-LD

An air-cooled RF generator with automatic matching for laboratory sputtering setups, providing adjustable output up to 300 W.

Output power 5–300 W
RF frequency 13.56 MHz
Power stability ±1%
  • Configuración final confirmada antes de cotizar
  • Personalización y accesorios revisados según la aplicación
  • Embalaje de exportación y documentación disponibles bajo solicitud
Características del equipo

Características clave del producto

  • Output power: 5–300 W

  • RF frequency: 13.56 MHz

  • Power stability: ±1%

Datos técnicos

Especificaciones técnicas

Las especificaciones se organizan por sistema para que diferentes tipos de equipos presenten los parámetros relevantes para su aplicación.

Key specifications

Output power 5–300 W
RF frequency 13.56 MHz
Power stability ±1%
Frequency stability ±0.005%
Matching Automatic variable-capacitor matching
Dimensions 400 × 450 × 80 mm

Las especificaciones pueden cambiar según configuración y personalización. Los datos finales están sujetos a la cotización confirmada.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.