实验室切割与制样设备
SYJ-1610 6 英寸晶圆空气轴承精密划片机
型号SYJ-1610
SYJ-1610 采用空气轴承主轴，面向薄型晶圆划片。3000–50000 rpm 转速范围、相机辅助对准和可编程控制用于晶圆加工，并需配套冷却水及洁净压缩空气。
晶圆及工作台尺寸
最大 6 英寸晶圆；方形工作台 160 × 160 mm
主轴转速
3000–50000 rpm
锯片规格
外径 50.8–60 mm；内径 40 mm；厚度 0.035–0.35 mm
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
典型应用
- 薄晶圆划片
- 晶圆工艺研发
设备特点
主要产品特点
-
空气轴承高速主轴
-
相机辅助对准，配合环形与同轴照明
-
触摸屏可编程操作
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 晶圆及工作台尺寸 | 最大 6 英寸晶圆；方形工作台 160 × 160 mm |
|---|---|
| 主轴转速 | 3000–50000 rpm |
| 锯片规格 | 外径 50.8–60 mm；内径 40 mm；厚度 0.035–0.35 mm |
| 最大切割深度 | 1.5 mm |
| 轴精度 | Y 单步精度：0.003 mm/5 mm；Z 重复定位精度：0.001 mm |
| 供电与功率 | 交流 220 V ±10%，单相；3 kW |
| 压缩空气要求 | 不低于 0.6 MPa、300 L/min；洁净、干燥、无油 |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
安装前需规划公用工程：所列切割冷却水要求不低于 0.3 MPa、3 L/min；气源应洁净、干燥且无油。当前控制软件及锯片、法兰具体配置请在报价时确认。
图片可能包含选配附件。订购前请与 LabSova 确认锯片、夹具、电气配置及最终交付范围。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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