B2B-Beschaffung von Laborgeräten Lieferantenkoordination · Technische Klärung · Exportunterstützung
Trenn- und Schneidgeräte für das Labor

SYJ-1610 Air-Bearing Dicing Saw for 6-Inch Wafers

ModellSYJ-1610

The SYJ-1610 is an air-bearing spindle platform for thin-wafer dicing. A 3000-50000 rpm speed range, camera-assisted alignment and programmable control support laboratory wafer processing with dedicated cooling-water and clean-air services.

Wafer and table size Up to 6-inch wafers; 160 x 160 mm square table
Spindle speed 3000-50000 rpm
Blade size 50.8-60 mm OD; 40 mm ID; 0.035-0.35 mm thickness
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Typische Anwendungen
  • Thin-wafer dicing
  • Research wafer process development
Gerätemerkmale

Wichtige Produktmerkmale

  • Air-bearing high-speed spindle

  • Camera-assisted alignment with ring and coaxial lighting

  • Programmable touchscreen operation

Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Wafer and table size Up to 6-inch wafers; 160 x 160 mm square table
Spindle speed 3000-50000 rpm
Blade size 50.8-60 mm OD; 40 mm ID; 0.035-0.35 mm thickness
Maximum cutting depth 1.5 mm
Axis precision Y single-step accuracy: 0.003 mm/5 mm; Z repeatability: 0.001 mm
Electrical supply and power 220 V AC +/-10%, single-phase; 3 kW
Compressed-air requirement At least 0.6 MPa and 300 L/min; clean, dry, oil-free

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Plan utilities before installation: cutting water is listed at at least 0.3 MPa and 3 L/min; the air source must be clean, dry and oil-free. Confirm current controller software and the exact blade/flange configuration in the quotation.

Images may show optional accessories. Confirm blade, fixtures, electrical configuration and delivered items with LabSova before ordering.