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Equipamentos de corte e seccionamento para laboratório

SYJ-1610 Air-Bearing Dicing Saw for 6-Inch Wafers

ModeloSYJ-1610

The SYJ-1610 is an air-bearing spindle platform for thin-wafer dicing. A 3000-50000 rpm speed range, camera-assisted alignment and programmable control support laboratory wafer processing with dedicated cooling-water and clean-air services.

Wafer and table size Up to 6-inch wafers; 160 x 160 mm square table
Spindle speed 3000-50000 rpm
Blade size 50.8-60 mm OD; 40 mm ID; 0.035-0.35 mm thickness
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Aplicações típicas
  • Thin-wafer dicing
  • Research wafer process development
Recursos do equipamento

Principais recursos do produto

  • Air-bearing high-speed spindle

  • Camera-assisted alignment with ring and coaxial lighting

  • Programmable touchscreen operation

Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Wafer and table size Up to 6-inch wafers; 160 x 160 mm square table
Spindle speed 3000-50000 rpm
Blade size 50.8-60 mm OD; 40 mm ID; 0.035-0.35 mm thickness
Maximum cutting depth 1.5 mm
Axis precision Y single-step accuracy: 0.003 mm/5 mm; Z repeatability: 0.001 mm
Electrical supply and power 220 V AC +/-10%, single-phase; 3 kW
Compressed-air requirement At least 0.6 MPa and 300 L/min; clean, dry, oil-free

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Plan utilities before installation: cutting water is listed at at least 0.3 MPa and 3 L/min; the air source must be clean, dry and oil-free. Confirm current controller software and the exact blade/flange configuration in the quotation.

Images may show optional accessories. Confirm blade, fixtures, electrical configuration and delivered items with LabSova before ordering.