化学气相沉积（CVD）
OTF-1200X-III-5-C3LVSF 滑动法兰三温区 CVD 炉
型号OTF-1200X-III-5-C3LVSF
130 mm 石英管 CVD 系统，配置三个独立温区、混气组件及导轨式法兰，方便样品装卸。
工作温度
连续 1100 °C；最高 1200 °C
石英管
外径 130 × 内径 120 × 长 1400 mm
均温段长度
各区同温时 625 mm；±1 °C
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 工作温度 | 连续 1100 °C；最高 1200 °C |
|---|---|
| 石英管 | 外径 130 × 内径 120 × 长 1400 mm |
| 均温段长度 | 各区同温时 625 mm；±1 °C |
| 装料导轨 | 800 mm |
| 气体混合 | 3 路 |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
产品详情
订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件，供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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