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Deposição química de vapor (CVD)

OTF-1200X-III-5-C3LVSF Sliding-Flange Three-Zone CVD Furnace

ModeloOTF-1200X-III-5-C3LVSF

A 130 mm quartz-tube CVD system with three independent heating zones, gas mixing and a guided flange that simplifies sample loading.

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C maximum
Quartz tube 130 mm OD x 120 mm ID x 1400 mm L
Uniform-temperature length 625 mm at equal zone settings; ±1 °C
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C maximum
Quartz tube 130 mm OD x 120 mm ID x 1400 mm L
Uniform-temperature length 625 mm at equal zone settings; ±1 °C
Loading rail 800 mm
Gas mixing 3 channels

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Descrição do produto

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.