OTF-1200X-III-5-C3LVSF Sliding-Flange Three-Zone CVD Furnace
A 130 mm quartz-tube CVD system with three independent heating zones, gas mixing and a guided flange that simplifies sample loading.
- Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
- Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
- Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Technische Spezifikationen
Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.
Key specifications
| Operating temperature | 1100 °C continuous; 1200 °C maximum |
|---|---|
| Quartz tube | 130 mm OD x 120 mm ID x 1400 mm L |
| Uniform-temperature length | 625 mm at equal zone settings; ±1 °C |
| Loading rail | 800 mm |
| Gas mixing | 3 channels |
Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.
Produktbeschreibung
Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.
Für internationale Käufer kann die Angebotsbestätigung Konfiguration, Zubehör, Verpackung, Exportdokumente, Inspektionsfotos oder -videos und Versandbedingungen umfassen.
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