化学气相沉积（CVD）
OTF-1200X-80-F3LV-PTFE 耐腐蚀气路 CVD 炉系统
型号OTF-1200X-80-F3LV-PTFE
单温区 CVD 炉采用 PTFE 法兰及混气组件，并在泵前配置冷阱，适用于涉及可凝结或腐蚀性前驱体的工艺。
工作温度
连续 1100 °C；最高 1200 °C
石英管
外径 80 × 内径 75 × 长 1000 mm
加热区
400 mm；均温区 150 mm
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 工作温度 | 连续 1100 °C；最高 1200 °C |
|---|---|
| 石英管 | 外径 80 × 内径 75 × 长 1000 mm |
| 加热区 | 400 mm；均温区 150 mm |
| 气路接触部件 | PTFE 法兰和三路混气组件 |
| 真空抽气 | 156 L/min 双级旋片泵，配冷阱 |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
产品详情
订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件，供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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