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化学气相沉积(CVD)

GSL-1100X-8.5-III-SR 大口径三温区 CVD 炉

型号GSL-1100X-8.5-III-SR

大口径石英管炉配置三个温区和滑动法兰支撑,方便较大基片装载,用于可控气氛热处理及沉积实验。

工作温度 连续 400–1000 °C;最高 1100 °C
石英管 外径 8.5 × 内径 8.2 × 长 51 英寸
加热区 3 × 300 mm;同温设定下均温区 500 mm
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

工作温度 连续 400–1000 °C;最高 1100 °C
石英管 外径 8.5 × 内径 8.2 × 长 51 英寸
加热区 3 × 300 mm;同温设定下均温区 500 mm
温控程序 3 个控制器;各 30 段;±1 °C
供电 220 V AC,单相;8 kW

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

产品详情

订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件,供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。