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Deposição química de vapor (CVD)

GSL-1100X-8.5-III-SR Large-Bore Three-Zone CVD Furnace

ModeloGSL-1100X-8.5-III-SR

A wide quartz-tube furnace with three temperature zones and a sliding flange support for loading larger substrates in atmosphere-controlled thermal and deposition experiments.

Operating temperature 400–1000 °C continuous; 1100 °C maximum
Quartz tube 8.5 in OD x 8.2 in ID x 51 in L
Heating zones 3 x 300 mm; 500 mm uniform zone at equal settings
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Operating temperature 400–1000 °C continuous; 1100 °C maximum
Quartz tube 8.5 in OD x 8.2 in ID x 51 in L
Heating zones 3 x 300 mm; 500 mm uniform zone at equal settings
Temperature program 3 controllers; 30 segments each; ±1 °C
Power supply 220 V AC, single phase; 8 kW

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Descrição do produto

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.