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CVD assisté par plasma (PECVD)

OTF-1200X-II-PE-RR Roll-to-Roll Plasma CVD Furnace

ModèleOTF-1200X-II-PE-RR

A continuous-substrate PECVD platform guides foil or wire between sealed chambers while controlling plasma power, transport speed and tension for film-growth research.

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C for <60 min
Quartz tube 80 mm OD x 72 mm ID x 1400 mm L
RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz
  • Configuration finale confirmée avant devis
  • Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
  • Emballage export et documentation disponibles sur demande
Données techniques

Spécifications techniques

Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.

Key specifications

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C for <60 min
Quartz tube 80 mm OD x 72 mm ID x 1400 mm L
RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz
Transport speed and width 1–400 mm/min; up to 65 mm width with 80 mm tube
Tension control 0–1000 g

Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.

Description du produit

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.