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CVD asistida por plasma (PECVD)

OTF-1200X-II-PE-RR Roll-to-Roll Plasma CVD Furnace

ModeloOTF-1200X-II-PE-RR

A continuous-substrate PECVD platform guides foil or wire between sealed chambers while controlling plasma power, transport speed and tension for film-growth research.

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C for <60 min
Quartz tube 80 mm OD x 72 mm ID x 1400 mm L
RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz
  • Configuración final confirmada antes de cotizar
  • Personalización y accesorios revisados según la aplicación
  • Embalaje de exportación y documentación disponibles bajo solicitud
Datos técnicos

Especificaciones técnicas

Las especificaciones se organizan por sistema para que diferentes tipos de equipos presenten los parámetros relevantes para su aplicación.

Key specifications

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C for <60 min
Quartz tube 80 mm OD x 72 mm ID x 1400 mm L
RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz
Transport speed and width 1–400 mm/min; up to 65 mm width with 80 mm tube
Tension control 0–1000 g

Las especificaciones pueden cambiar según configuración y personalización. Los datos finales están sujetos a la cotización confirmada.

Descripción del producto

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.