B2B-Beschaffung von Laborgeräten Lieferantenkoordination · Technische Klärung · Exportunterstützung
Plasmaunterstützte CVD (PECVD)

OTF-1200X-II-PE-RR Roll-to-Roll Plasma CVD Furnace

ModellOTF-1200X-II-PE-RR

A continuous-substrate PECVD platform guides foil or wire between sealed chambers while controlling plasma power, transport speed and tension for film-growth research.

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C for <60 min
Quartz tube 80 mm OD x 72 mm ID x 1400 mm L
RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Operating temperature 1100 °C continuous; 1200 °C for <60 min
Quartz tube 80 mm OD x 72 mm ID x 1400 mm L
RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz
Transport speed and width 1–400 mm/min; up to 65 mm width with 80 mm tube
Tension control 0–1000 g

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Produktbeschreibung

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.