B2B-Beschaffung von Laborgeräten Lieferantenkoordination · Technische Klärung · Exportunterstützung
Plasmaunterstützte CVD (PECVD)

OTF-1200X-II-50-PEMSL Auto-Sliding PECVD Furnace with Preheater

ModellOTF-1200X-II-50-PEMSL

A dual-zone plasma CVD platform with a separate precursor preheater and programmable furnace travel, suitable for vapor delivery and rapid sample exposure studies.

Continuous temperature 1100 °C
Heating zones 2 x 200 mm; 250 mm uniform zone at equal settings
RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Continuous temperature 1100 °C
Heating zones 2 x 200 mm; 250 mm uniform zone at equal settings
RF plasma source 5–300 W; 13.56 MHz
Quartz tube 50 mm OD x 44 mm ID x 2200 mm L
Sliding speed 0–70 mm/s

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Produktbeschreibung

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.