薄膜沉积设备
MSKPSEGEC1515 六源手套箱集成热蒸发镀膜系统
型号MSKPSEGEC1515
三组金属源和三组有机源与净化手套箱集成，适合空气敏感薄膜研究。
蒸发源配置
3 组金属源 + 3 组有机源
蒸发源温度
金属源最高 1500 °C；有机源 0–700 °C
沉积腔体尺寸
400 × 400 × 450 mm
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
设备特点
主要产品特点
-
蒸发源配置: 3 组金属源 + 3 组有机源
-
蒸发源温度: 金属源最高 1500 °C；有机源 0–700 °C
-
沉积腔体尺寸: 400 × 400 × 450 mm
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 蒸发源配置 | 3 组金属源 + 3 组有机源 |
|---|---|
| 蒸发源温度 | 金属源最高 1500 °C；有机源 0–700 °C |
| 沉积腔体尺寸 | 400 × 400 × 450 mm |
| 最大样品尺寸 | 150 × 150 mm |
| 样品台转速 | 0–30 rpm |
| 净化气氛 | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
请与 LabSova 确认蒸发材料、蒸发源兼容性、基片尺寸、真空度及电气配置。设备与附件以最终确认的配置为准。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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