薄膜成膜装置
MSKPSEGEC1515 Six-Source Glovebox Thermal Evaporation System
モデルMSKPSEGEC1515
Three metal and three organic evaporation sources are integrated with a purified glovebox for air-sensitive thin-film research.
Source configuration
3 metal sources + 3 organic sources
Source temperature ratings
Metal: ≤1500 °C; organic: 0–700 °C
Chamber dimensions
400 × 400 × 450 mm
- 最終構成は見積前に確認
- 用途に応じてカスタムと付属品を確認
- 輸出梱包と書類は必要に応じて対応
設備の特徴
主な製品特徴
-
Source configuration: 3 metal sources + 3 organic sources
-
Source temperature ratings: Metal: ≤1500 °C; organic: 0–700 °C
-
Chamber dimensions: 400 × 400 × 450 mm
技術データ
技術仕様
仕様はシステム別に整理され、設備タイプごとに重要なパラメータを表示します。
Key specifications
| Source configuration | 3 metal sources + 3 organic sources |
|---|---|
| Source temperature ratings | Metal: ≤1500 °C; organic: 0–700 °C |
| Chamber dimensions | 400 × 400 × 450 mm |
| Maximum sample size | 150 × 150 mm |
| Stage rotation | 0–30 rpm |
| Purified atmosphere | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
仕様は構成やカスタム内容により変更される場合があります。最終データは確認済み見積に従います。
Confirm the evaporation material, source compatibility, substrate dimensions, vacuum level and electrical configuration with LabSova. Equipment and accessories are supplied according to the agreed configuration.
発注前に調達条件を確認できます。
要件を確認
海外購入者向けに、構成、付属品、梱包方法、輸出書類、検査写真または動画、出荷条件を見積確認に含められます。
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