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Equipamentos de deposição de filmes finos

MSKPSEGEC1515 Six-Source Glovebox Thermal Evaporation System

ModeloMSKPSEGEC1515

Three metal and three organic evaporation sources are integrated with a purified glovebox for air-sensitive thin-film research.

Source configuration 3 metal sources + 3 organic sources
Source temperature ratings Metal: ≤1500 °C; organic: 0–700 °C
Chamber dimensions 400 × 400 × 450 mm
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Recursos do equipamento

Principais recursos do produto

  • Source configuration: 3 metal sources + 3 organic sources

  • Source temperature ratings: Metal: ≤1500 °C; organic: 0–700 °C

  • Chamber dimensions: 400 × 400 × 450 mm

Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Source configuration 3 metal sources + 3 organic sources
Source temperature ratings Metal: ≤1500 °C; organic: 0–700 °C
Chamber dimensions 400 × 400 × 450 mm
Maximum sample size 150 × 150 mm
Stage rotation 0–30 rpm
Purified atmosphere O2 <1 ppm; H2O <1 ppm

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Confirm the evaporation material, source compatibility, substrate dimensions, vacuum level and electrical configuration with LabSova. Equipment and accessories are supplied according to the agreed configuration.