RF-600-LD 600 W RF Power Supply for Plasma Process Systems
An RF supply for a 50-ohm load, available in specified frequency versions for integration into plasma process equipment.
- Configuração final confirmada antes da cotação
- Personalização e acessórios revisados pela aplicação
- Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Principais recursos do produto
-
Maximum forward power: 600 W into 50 Ω
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Frequency versions: 400 kHz; 2, 13.56, 27.12, 40.68 or 60 MHz
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Frequency stability: ±0.005%
Especificações técnicas
As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.
Key specifications
| Maximum forward power | 600 W into 50 Ω |
|---|---|
| Frequency versions | 400 kHz; 2, 13.56, 27.12, 40.68 or 60 MHz |
| Frequency stability | ±0.005% |
| Rise time | <200 ms |
| AC input | 208 V; single phase |
| Dimensions | 216 × 134 × 469 mm |
As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Para compradores internacionais, a confirmação pode incluir configuração, acessórios, embalagem, documentos de exportação, fotos ou vídeos de inspeção e termos de envio.
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