معدات ترسيب الأغشية الرقيقة
RF-600-LD 600 W RF Power Supply for Plasma Process Systems
النموذجRF-600-LD
An RF supply for a 50-ohm load, available in specified frequency versions for integration into plasma process equipment.
Maximum forward power
600 W into 50 Ω
Frequency versions
400 kHz; 2, 13.56, 27.12, 40.68 or 60 MHz
Frequency stability
±0.005%
- يتم تأكيد التكوين النهائي قبل عرض السعر
- تتم مراجعة التخصيص والملحقات حسب التطبيق
- تتوفر تعبئة التصدير والوثائق عند الطلب
اتصال فني مباشر
ميزات المعدات
ميزات المنتج الرئيسية
-
Maximum forward power: 600 W into 50 Ω
-
Frequency versions: 400 kHz; 2, 13.56, 27.12, 40.68 or 60 MHz
-
Frequency stability: ±0.005%
بيانات فنية
المواصفات الفنية
تُنظم المواصفات حسب النظام حتى تعرض أنواع المعدات المختلفة المعايير المهمة لتطبيقها.
Key specifications
| Maximum forward power | 600 W into 50 Ω |
|---|---|
| Frequency versions | 400 kHz; 2, 13.56, 27.12, 40.68 or 60 MHz |
| Frequency stability | ±0.005% |
| Rise time | <200 ms |
| AC input | 208 V; single phase |
| Dimensions | 216 × 134 × 469 mm |
قد تتغير المواصفات حسب التكوين والتخصيص. تخضع البيانات النهائية للعرض المؤكد.
اتصال فني مباشر
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
يمكن تأكيد تفاصيل الشراء قبل الطلب.
تأكيد المتطلبات
للمشترين الدوليين، يمكن أن يشمل تأكيد العرض التكوين والملحقات وطريقة التعبئة ومستندات التصدير وصور أو فيديو الفحص وشروط الشحن.
معدات ذات صلة







