RF-600-LD 600 W RF Power Supply for Plasma Process Systems
An RF supply for a 50-ohm load, available in specified frequency versions for integration into plasma process equipment.
- Финальная конфигурация подтверждается до предложения
- Настройка и аксессуары проверяются по применению
- Экспортная упаковка и документация доступны по запросу
Ключевые характеристики продукта
-
Maximum forward power: 600 W into 50 Ω
-
Frequency versions: 400 kHz; 2, 13.56, 27.12, 40.68 or 60 MHz
-
Frequency stability: ±0.005%
Технические спецификации
Спецификации организованы по системам, чтобы разные типы оборудования показывали важные для применения параметры.
Key specifications
| Maximum forward power | 600 W into 50 Ω |
|---|---|
| Frequency versions | 400 kHz; 2, 13.56, 27.12, 40.68 or 60 MHz |
| Frequency stability | ±0.005% |
| Rise time | <200 ms |
| AC input | 208 V; single phase |
| Dimensions | 216 × 134 × 469 mm |
Спецификации могут изменяться в зависимости от конфигурации и настройки. Окончательные данные зависят от подтвержденного предложения.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Для международных покупателей подтверждение может включать конфигурацию, аксессуары, упаковку, экспортные документы, фото или видео инспекции и условия доставки.
Больше из этой категории
VTC-16-D Compact DC Sputter Coater for SEM Sample Preparation
Подробнее →
GSL-1100X-SPC-16C-LD Combined Sputter and Carbon Evaporation Coater
Подробнее →
VTC-16-3HD-LD Three-Target Rotary Plasma Sputtering Coater
Подробнее →
VTC-16-SM 250 W DC Magnetron Coater with Rotating Stage
Подробнее →
VTC-STX-XX Compact 2-Inch Magnetron Coater with DC or RF Options
Подробнее →
VTC-16-PW DC Magnetron Powder Coater with Vibrating Sample Cup
Подробнее →
VTC-3HD-VP Three-Head RF/DC Powder Coater with Gas Purification
Подробнее →