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Deposição química de vapor (CVD)

OTF-1200X-III-HPCVD-S3 Three-Zone Hybrid Deposition Furnace

ModeloOTF-1200X-III-HPCVD-S3

A large-bore hybrid PVD/CVD platform for sequential deposition and co-evaporation studies, with three independently heated zones and separately controlled source feed channels.

Operating temperature 100–1100 °C continuous; 1200 °C for <1 h
Heating zones 3 x 300 mm
Main quartz tube 130 mm OD x 122 mm ID x 1200 mm L
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Operating temperature 100–1100 °C continuous; 1200 °C for <1 h
Heating zones 3 x 300 mm
Main quartz tube 130 mm OD x 122 mm ID x 1200 mm L
Gas control 4 channels with PLC touchscreen
Power supply 208–240 V AC, single phase; 10 kW

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

Descrição do produto

The number and motion of source feed channels require confirmation for the selected configuration.

Confirm precursor or sample compatibility, tube and flange configuration, gases, pumping, cooling, exhaust and electrical supply with LabSova before ordering. Images may show optional accessories; the agreed configuration defines supply. Temperature ratings do not imply that every vacuum or pressure condition is permitted at that temperature.