薄膜沉积设备
VTC-EV3-GB 4 英寸基片三坩埚手套箱蒸发系统
型号VTC-EV3-GB
三个坩埚依次加热，配合 4 英寸旋转样品架，在净化手套箱内完成多层蒸发沉积。
蒸发坩埚
3 × 3 mL
测温范围
200–1700 °C；B 型热电偶
基片架
直径 4 英寸；5 rpm
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
设备特点
主要产品特点
-
蒸发坩埚: 3 × 3 mL
-
测温范围: 200–1700 °C；B 型热电偶
-
基片架: 直径 4 英寸；5 rpm
技术数据
技术规格
规格按系统分组，便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 蒸发坩埚 | 3 × 3 mL |
|---|---|
| 测温范围 | 200–1700 °C；B 型热电偶 |
| 基片架 | 直径 4 英寸；5 rpm |
| 源基距 | 40–90 mm |
| 腔体内部尺寸 | Ø260 × 310 mm |
| 净化气氛 | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
规格可能随配置和定制要求变化，最终数据以确认后的报价为准。
图片为系统布局示意图，并非交付设备实拍。
请与 LabSova 确认蒸发材料、蒸发源兼容性、基片尺寸、真空度及电气配置。设备与附件以最终确认的配置为准。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家，报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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