薄膜成膜装置
VTC-EV3-GB Three-Crucible Glovebox Evaporator for 4-Inch Substrates
モデルVTC-EV3-GB
Three sequentially heated crucibles and a rotating 4-inch holder support multilayer evaporation while samples remain inside a purified glovebox.
Evaporation crucibles
3 × 3 mL
Temperature range
200–1700 °C; B-type thermocouples
Substrate holder
4 in diameter; 5 rpm
- 最終構成は見積前に確認
- 用途に応じてカスタムと付属品を確認
- 輸出梱包と書類は必要に応じて対応
設備の特徴
主な製品特徴
-
Evaporation crucibles: 3 × 3 mL
-
Temperature range: 200–1700 °C; B-type thermocouples
-
Substrate holder: 4 in diameter; 5 rpm
技術データ
技術仕様
仕様はシステム別に整理され、設備タイプごとに重要なパラメータを表示します。
Key specifications
| Evaporation crucibles | 3 × 3 mL |
|---|---|
| Temperature range | 200–1700 °C; B-type thermocouples |
| Substrate holder | 4 in diameter; 5 rpm |
| Source-to-sample distance | 40–90 mm |
| Chamber inner size | Ø260 × 310 mm |
| Purified atmosphere | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
仕様は構成やカスタム内容により変更される場合があります。最終データは確認済み見積に従います。
The image is a system layout illustration, not a photograph of the delivered equipment.
Confirm the evaporation material, source compatibility, substrate dimensions, vacuum level and electrical configuration with LabSova. Equipment and accessories are supplied according to the agreed configuration.
発注前に調達条件を確認できます。
要件を確認
海外購入者向けに、構成、付属品、梱包方法、輸出書類、検査写真または動画、出荷条件を見積確認に含められます。
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