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薄膜沉积设备

GSL-1800X-ZF4 四舟高真空热蒸发镀膜系统

型号GSL-1800X-ZF4

四个钨蒸发舟配独立电动挡板,可在 120 mm 旋转样品架上依次沉积薄膜。

蒸发源 4 个钨蒸发舟
蒸发舟尺寸 70 × 12 × 3 mm
腔体内部尺寸 Ø300 × 360 mm
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
设备特点

主要产品特点

  • 蒸发源: 4 个钨蒸发舟

  • 蒸发舟尺寸: 70 × 12 × 3 mm

  • 腔体内部尺寸: Ø300 × 360 mm

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

蒸发源 4 个钨蒸发舟
蒸发舟尺寸 70 × 12 × 3 mm
腔体内部尺寸 Ø300 × 360 mm
样品架直径 120 mm
源基距 140–200 mm
蒸发源最大输出 8 V AC; 200 A; 1600 W

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

请与 LabSova 确认蒸发材料、蒸发源兼容性、基片尺寸、真空度及电气配置。设备与附件以最终确认的配置为准。