薄膜成膜装置
GSL-1800X-ZF4 Four-Boat High-Vacuum Thermal Evaporation System
モデルGSL-1800X-ZF4
Four tungsten boats with individual motorized shutters support sequential deposition onto a rotating 120 mm sample holder.
Evaporation sources
4 tungsten boats
Boat dimensions
70 × 12 × 3 mm
Chamber inner size
Ø300 × 360 mm
- 最終構成は見積前に確認
- 用途に応じてカスタムと付属品を確認
- 輸出梱包と書類は必要に応じて対応
設備の特徴
主な製品特徴
-
Evaporation sources: 4 tungsten boats
-
Boat dimensions: 70 × 12 × 3 mm
-
Chamber inner size: Ø300 × 360 mm
技術データ
技術仕様
仕様はシステム別に整理され、設備タイプごとに重要なパラメータを表示します。
Key specifications
| Evaporation sources | 4 tungsten boats |
|---|---|
| Boat dimensions | 70 × 12 × 3 mm |
| Chamber inner size | Ø300 × 360 mm |
| Sample-holder diameter | 120 mm |
| Source-to-sample distance | 140–200 mm |
| Maximum source output | 8 V AC; 200 A; 1600 W |
仕様は構成やカスタム内容により変更される場合があります。最終データは確認済み見積に従います。
Confirm the evaporation material, source compatibility, substrate dimensions, vacuum level and electrical configuration with LabSova. Equipment and accessories are supplied according to the agreed configuration.
発注前に調達条件を確認できます。
要件を確認
海外購入者向けに、構成、付属品、梱包方法、輸出書類、検査写真または動画、出荷条件を見積確認に含められます。
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