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Dünnschichtbeschichtungsanlagen

GSL-1800X-ZF4 Four-Boat High-Vacuum Thermal Evaporation System

ModellGSL-1800X-ZF4

Four tungsten boats with individual motorized shutters support sequential deposition onto a rotating 120 mm sample holder.

Evaporation sources 4 tungsten boats
Boat dimensions 70 × 12 × 3 mm
Chamber inner size Ø300 × 360 mm
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Gerätemerkmale

Wichtige Produktmerkmale

  • Evaporation sources: 4 tungsten boats

  • Boat dimensions: 70 × 12 × 3 mm

  • Chamber inner size: Ø300 × 360 mm

Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Evaporation sources 4 tungsten boats
Boat dimensions 70 × 12 × 3 mm
Chamber inner size Ø300 × 360 mm
Sample-holder diameter 120 mm
Source-to-sample distance 140–200 mm
Maximum source output 8 V AC; 200 A; 1600 W

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Confirm the evaporation material, source compatibility, substrate dimensions, vacuum level and electrical configuration with LabSova. Equipment and accessories are supplied according to the agreed configuration.