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化学气相沉积(CVD)

GSL-1700X-F3LV 氧化铝管三路混气 CVD 炉

型号GSL-1700X-F3LV

高温氧化铝管系统集成混气、机械真空和耐腐蚀压力测量,用于 CVD、扩散及可控气氛热处理。

最高温度 1700 °C
氧化铝管 纯度 99.8%;外径 80 × 内径 73 × 长 1000 mm
加热区 455 mm;均温区 150 mm
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

最高温度 1700 °C
氧化铝管 纯度 99.8%;外径 80 × 内径 73 × 长 1000 mm
加热区 455 mm;均温区 150 mm
气体流量范围 3 路:10–100、16–160、25–250 cc/min
系统真空度 机械泵配置可达 5 × 10^-2 Torr

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

产品详情

订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件,供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。