HVMSS-SPC-1-LD Tilting 1-Inch RF/DC Magnetron Sputtering Source
A compact source component with adjustable incidence angle, suitable for integration with an external RF or DC supply and water cooling.
- Configuration finale confirmée avant devis
- Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
- Emballage export et documentation disponibles sur demande
Principales caractéristiques
-
Target diameter: 25.4 mm
-
Maximum target thickness: 3 mm
-
Maximum input power: 250 W DC; 100 W RF
Spécifications techniques
Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.
Key specifications
| Target diameter | 25.4 mm |
|---|---|
| Maximum target thickness | 3 mm |
| Maximum input power | 250 W DC; 100 W RF |
| Head tilt | ±45° |
| Operating voltage | 200–1000 V |
| Operating pressure | 1 mTorr–1 Torr |
Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Pour les acheteurs internationaux, la confirmation du devis peut inclure configuration, accessoires, emballage, documents export, photos ou vidéos d’inspection et conditions d’expédition.
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