HVMSS-SPC-1-LD Tilting 1-Inch RF/DC Magnetron Sputtering Source
A compact source component with adjustable incidence angle, suitable for integration with an external RF or DC supply and water cooling.
- Configuración final confirmada antes de cotizar
- Personalización y accesorios revisados según la aplicación
- Embalaje de exportación y documentación disponibles bajo solicitud
Características clave del producto
-
Target diameter: 25.4 mm
-
Maximum target thickness: 3 mm
-
Maximum input power: 250 W DC; 100 W RF
Especificaciones técnicas
Las especificaciones se organizan por sistema para que diferentes tipos de equipos presenten los parámetros relevantes para su aplicación.
Key specifications
| Target diameter | 25.4 mm |
|---|---|
| Maximum target thickness | 3 mm |
| Maximum input power | 250 W DC; 100 W RF |
| Head tilt | ±45° |
| Operating voltage | 200–1000 V |
| Operating pressure | 1 mTorr–1 Torr |
Las especificaciones pueden cambiar según configuración y personalización. Los datos finales están sujetos a la cotización confirmada.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Para compradores internacionales, la confirmación puede incluir configuración, accesorios, embalaje, documentos de exportación, fotos o videos de inspección y términos de envío.
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