HVMSS-SPC-1-LD Tilting 1-Inch RF/DC Magnetron Sputtering Source
A compact source component with adjustable incidence angle, suitable for integration with an external RF or DC supply and water cooling.
- Configuração final confirmada antes da cotação
- Personalização e acessórios revisados pela aplicação
- Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Principais recursos do produto
-
Target diameter: 25.4 mm
-
Maximum target thickness: 3 mm
-
Maximum input power: 250 W DC; 100 W RF
Especificações técnicas
As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.
Key specifications
| Target diameter | 25.4 mm |
|---|---|
| Maximum target thickness | 3 mm |
| Maximum input power | 250 W DC; 100 W RF |
| Head tilt | ±45° |
| Operating voltage | 200–1000 V |
| Operating pressure | 1 mTorr–1 Torr |
As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Para compradores internacionais, a confirmação pode incluir configuração, acessórios, embalagem, documentos de exportação, fotos ou vídeos de inspeção e termos de envio.
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