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Dünnschichtbeschichtungsanlagen

HVMSS-SPC-2F Adjustable 2-Inch Magnetron Sputtering Source

ModellHVMSS-SPC-2F

A water-cooled source component for custom sputtering systems, with a tilting head and quick vacuum connection; not a complete coater.

Target diameter 50.8 mm
Maximum input power 500 W DC; 300 W RF
Head tilt ±25°
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Gerätemerkmale

Wichtige Produktmerkmale

  • Target diameter: 50.8 mm

  • Maximum input power: 500 W DC; 300 W RF

  • Head tilt: ±25°

Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Target diameter 50.8 mm
Maximum input power 500 W DC; 300 W RF
Head tilt ±25°
Sputtering voltage 200–1000 V
Operating pressure 1–1000 mTorr
Cooling-water requirement 0.8 GPM; inlet <20 °C

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.