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化学气相沉积(CVD)

OTF-1200X-III-HVC-LD 三温区高真空 CVD 工作站

型号OTF-1200X-III-HVC-LD

三温区管式炉结合四路质量流量供气和高真空站,适合同时需要温度梯度与受控气体组成的研究。

工作温度 连续 1100 °C;最高 1200 °C
加热区 3 × 300 mm;总长 900 mm
气体控制 4 路质量流量控制,数字显示
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

工作温度 连续 1100 °C;最高 1200 °C
加热区 3 × 300 mm;总长 900 mm
气体控制 4 路质量流量控制,数字显示
系统真空度 采用指定密封件可达 1 × 10^-4 Torr
炉体供电 208–240 V AC,单相;7 kW

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

产品详情

订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件,供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。