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化学气相沉积(CVD)

MSKUSP17SP 雾化 CVD 超声前驱体发生器

型号MSKUSP17SP

带注射供液及温和加热的超声雾化器,用于气溶胶辅助 CVD。可拆卸不锈钢容器便于不同前驱体配方之间清洗。

超声频率 1.7 MHz
雾滴尺寸 <10 µm,取决于溶液及气流条件
注射器容量 10 µL–60 mL
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

超声频率 1.7 MHz
雾滴尺寸 <10 µm,取决于溶液及气流条件
注射器容量 10 µL–60 mL
供液范围 3.9 µL/min–76.5 mL/min,取决于注射器规格
加热带温度上限 80 °C

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

产品详情

订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件,供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。