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化学气相沉积(CVD)

LVD-F1 温控 CVD 液体汽化供给系统

型号LVD-F1

紧凑型实验室 CVD 液体供给附件,通过可调供液与惰性载气,将汽化前驱体送入工艺系统。

供液流量 1–82 mL/min;标称偏差 ±1 mL/min
载气流量 200–2000 mL/min
蒸气出口接头 外径 1/4 英寸
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

供液流量 1–82 mL/min;标称偏差 ±1 mL/min
载气流量 200–2000 mL/min
蒸气出口接头 外径 1/4 英寸
供电 220 V,50/60 Hz;2500 W

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

产品详情

订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件,供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。