化学气相沉积(CVD)
LVD-F1 温控 CVD 液体汽化供给系统
型号LVD-F1
紧凑型实验室 CVD 液体供给附件,通过可调供液与惰性载气,将汽化前驱体送入工艺系统。
供液流量
1–82 mL/min;标称偏差 ±1 mL/min
载气流量
200–2000 mL/min
蒸气出口接头
外径 1/4 英寸
- 报价前确认最终配置
- 根据应用确认定制和附件
- 可按需提供出口包装与文件
技术数据
技术规格
规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。
主要参数
| 供液流量 | 1–82 mL/min;标称偏差 ±1 mL/min |
|---|---|
| 载气流量 | 200–2000 mL/min |
| 蒸气出口接头 | 外径 1/4 英寸 |
| 供电 | 220 V,50/60 Hz;2500 W |
规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。
产品详情
订购前请与 LabSova 确认前驱体或样品兼容性、炉管及法兰配置、气体、抽气、冷却、排风和供电要求。图片可能包含选配附件,供货以双方确认配置为准。温度额定值不代表该温度下允许任意真空或压力条件。
采购细节可在下单前确认。
确认需求
面向国际买家,报价确认可包含配置、附件、包装方式、出口文件、验货照片或视频以及运输条款。
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