VTC-600-2HD-GB-LD Glovebox RF/DC Dual-Head Magnetron Coating System
A recessed dual-head coater keeps sample handling inside a purified glovebox, with DC and RF supplies mounted outside.
- Configuration finale confirmée avant devis
- Personnalisation et accessoires étudiés selon l’application
- Emballage export et documentation disponibles sur demande
Principales caractéristiques
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Glovebox chamber: 1200 × 740 × 900 mm
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Purified atmosphere: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
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Sputtering heads: 2 × 2 in
Spécifications techniques
Les spécifications sont organisées par système afin de présenter les paramètres pertinents pour chaque équipement.
Key specifications
| Glovebox chamber | 1200 × 740 × 900 mm |
|---|---|
| Purified atmosphere | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
| Sputtering heads | 2 × 2 in |
| Source ratings | 500 W DC; 300 W RF, 13.56 MHz |
| Deposition chamber | Ø300 × 300 mm |
| Stage rotation | 1–20 rpm |
Les spécifications peuvent varier selon la configuration. Les données finales dépendent du devis confirmé.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Pour les acheteurs internationaux, la confirmation du devis peut inclure configuration, accessoires, emballage, documents export, photos ou vidéos d’inspection et conditions d’expédition.







