VTC-600-2HD-GB-LD Glovebox RF/DC Dual-Head Magnetron Coating System
A recessed dual-head coater keeps sample handling inside a purified glovebox, with DC and RF supplies mounted outside.
- Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
- Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
- Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Wichtige Produktmerkmale
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Glovebox chamber: 1200 × 740 × 900 mm
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Purified atmosphere: O2 <1 ppm; H2O <1 ppm
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Sputtering heads: 2 × 2 in
Technische Spezifikationen
Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.
Key specifications
| Glovebox chamber | 1200 × 740 × 900 mm |
|---|---|
| Purified atmosphere | O2 <1 ppm; H2O <1 ppm |
| Sputtering heads | 2 × 2 in |
| Source ratings | 500 W DC; 300 W RF, 13.56 MHz |
| Deposition chamber | Ø300 × 300 mm |
| Stage rotation | 1–20 rpm |
Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Für internationale Käufer kann die Angebotsbestätigung Konfiguration, Zubehör, Verpackung, Exportdokumente, Inspektionsfotos oder -videos und Versandbedingungen umfassen.
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