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薄膜沉积设备

GSL-1700X-SPC2 程序温控台式热蒸发镀膜仪

型号GSL-1700X-SPC2

钨丝蒸发源与旋转样品台配合,支持程序温度曲线,用于小面积薄膜沉积。

温度程序 30 段;稳定度 ±1 °C
样品台直径 50 mm
样品台转速 5 rpm
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
设备特点

主要产品特点

  • 温度程序: 30 段;稳定度 ±1 °C

  • 样品台直径: 50 mm

  • 样品台转速: 5 rpm

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

温度程序 30 段;稳定度 ±1 °C
样品台直径 50 mm
样品台转速 5 rpm
源基距 40–85 mm
腔体内部尺寸 Ø150 × 250 mm
真空接口 KF25;真空泵另行选配

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

请与 LabSova 确认蒸发材料、蒸发源兼容性、基片尺寸、真空度及电气配置。设备与附件以最终确认的配置为准。