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薄膜沉积设备

DC-500-LD 系统集成用 500 W 直流溅射电源

型号DC-500-LD

机架式直流源,支持电压和电流显示,用于驱动另行选配的磁控溅射头。

最大功率 500 W
最高输出电压 600 V DC
最大输出电流 0.8 A
  • 报价前确认最终配置
  • 根据应用确认定制和附件
  • 可按需提供出口包装与文件
设备特点

主要产品特点

  • 最大功率: 500 W

  • 最高输出电压: 600 V DC

  • 最大输出电流: 0.8 A

技术数据

技术规格

规格按系统分组,便于不同设备展示与其应用相关的重要参数。

主要参数

最大功率 500 W
最高输出电压 600 V DC
最大输出电流 0.8 A
显示分辨率 1 V; 1 mA
交流输入 220 V ±10%
机箱尺寸 440 × 85 × 403 mm

规格可能随配置和定制要求变化,最终数据以确认后的报价为准。

请与 LabSova 确认靶材、基片尺寸、供电、真空泵、冷却及气体要求。选配部件及实验室配套条件需另行确认。