VTC-600-3HD-LD Three-Source RF/DC Magnetron Coater for Multilayer Films
Three water-cooled sources and three mass-flow controllers support multi-material coating with a heated rotating stage.
- Configuração final confirmada antes da cotação
- Personalização e acessórios revisados pela aplicação
- Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Principais recursos do produto
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Sputtering heads: 3 × 2 in
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Source configuration: 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz)
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Chamber size: Ø300 × 300 mm
Especificações técnicas
As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.
Key specifications
| Sputtering heads | 3 × 2 in |
|---|---|
| Source configuration | 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz) |
| Chamber size | Ø300 × 300 mm |
| Stage diameter | 140 mm |
| Stage rotation and heat | 1–20 rpm; up to 500 °C |
| Gas controllers | 3 MFCs; 0–200 sccm, N2 calibrated |
As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Para compradores internacionais, a confirmação pode incluir configuração, acessórios, embalagem, documentos de exportação, fotos ou vídeos de inspeção e termos de envio.
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