Equipos de deposición de películas delgadas

VTC-600-3HD-LD Three-Source RF/DC Magnetron Coater for Multilayer Films

Name: VTC-600-3HD-LD Three-Source RF/DC Magnetron Coater for Multilayer Films | LabSova
Brand: LabSova
SKU: VTC-600-3HD-LD

ModeloVTC-600-3HD-LD

Three water-cooled sources and three mass-flow controllers support multi-material coating with a heated rotating stage.

Sputtering heads 3 × 2 in

Source configuration 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz)

Chamber size Ø300 × 300 mm

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Email [email protected] WhatsApp +86 15038179437 WeChat 195 2233 7956

Características del equipo

Características clave del producto

Sputtering heads: 3 × 2 in
Source configuration: 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz)
Chamber size: Ø300 × 300 mm

Datos técnicos

Especificaciones técnicas

Las especificaciones se organizan por sistema para que diferentes tipos de equipos presenten los parámetros relevantes para su aplicación.

Key specifications

Sputtering heads	3 × 2 in
Source configuration	2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz)
Chamber size	Ø300 × 300 mm
Stage diameter	140 mm
Stage rotation and heat	1–20 rpm; up to 500 °C
Gas controllers	3 MFCs; 0–200 sccm, N2 calibrated

Las especificaciones pueden cambiar según configuración y personalización. Los datos finales están sujetos a la cotización confirmada.

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