VTC-600-3HD-LD Three-Source RF/DC Magnetron Coater for Multilayer Films
Three water-cooled sources and three mass-flow controllers support multi-material coating with a heated rotating stage.
- Финальная конфигурация подтверждается до предложения
- Настройка и аксессуары проверяются по применению
- Экспортная упаковка и документация доступны по запросу
Ключевые характеристики продукта
-
Sputtering heads: 3 × 2 in
-
Source configuration: 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz)
-
Chamber size: Ø300 × 300 mm
Технические спецификации
Спецификации организованы по системам, чтобы разные типы оборудования показывали важные для применения параметры.
Key specifications
| Sputtering heads | 3 × 2 in |
|---|---|
| Source configuration | 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz) |
| Chamber size | Ø300 × 300 mm |
| Stage diameter | 140 mm |
| Stage rotation and heat | 1–20 rpm; up to 500 °C |
| Gas controllers | 3 MFCs; 0–200 sccm, N2 calibrated |
Спецификации могут изменяться в зависимости от конфигурации и настройки. Окончательные данные зависят от подтвержденного предложения.
Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.
Для международных покупателей подтверждение может включать конфигурацию, аксессуары, упаковку, экспортные документы, фото или видео инспекции и условия доставки.
Больше из этой категории
VTC-16-D Compact DC Sputter Coater for SEM Sample Preparation
Подробнее →
GSL-1100X-SPC-16C-LD Combined Sputter and Carbon Evaporation Coater
Подробнее →
VTC-16-3HD-LD Three-Target Rotary Plasma Sputtering Coater
Подробнее →
VTC-16-SM 250 W DC Magnetron Coater with Rotating Stage
Подробнее →
VTC-STX-XX Compact 2-Inch Magnetron Coater with DC or RF Options
Подробнее →
VTC-16-PW DC Magnetron Powder Coater with Vibrating Sample Cup
Подробнее →
VTC-3HD-VP Three-Head RF/DC Powder Coater with Gas Purification
Подробнее →