معدات ترسيب الأغشية الرقيقة

VTC-600-3HD-LD Three-Source RF/DC Magnetron Coater for Multilayer Films

Name: VTC-600-3HD-LD Three-Source RF/DC Magnetron Coater for Multilayer Films | LabSova
Brand: LabSova
SKU: VTC-600-3HD-LD

النموذجVTC-600-3HD-LD

Three water-cooled sources and three mass-flow controllers support multi-material coating with a heated rotating stage.

Sputtering heads 3 × 2 in

Source configuration 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz)

Chamber size Ø300 × 300 mm

طلب عرض سعر عرض المواصفات

يتم تأكيد التكوين النهائي قبل عرض السعر
تتم مراجعة التخصيص والملحقات حسب التطبيق
تتوفر تعبئة التصدير والوثائق عند الطلب

اتصال فني مباشر

Email [email protected] WhatsApp +86 15038179437 WeChat 195 2233 7956

ميزات المعدات

ميزات المنتج الرئيسية

Sputtering heads: 3 × 2 in
Source configuration: 2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz)
Chamber size: Ø300 × 300 mm

بيانات فنية

المواصفات الفنية

تُنظم المواصفات حسب النظام حتى تعرض أنواع المعدات المختلفة المعايير المهمة لتطبيقها.

Key specifications

Sputtering heads	3 × 2 in
Source configuration	2 × 500 W DC + 1 × 300 W RF (13.56 MHz)
Chamber size	Ø300 × 300 mm
Stage diameter	140 mm
Stage rotation and heat	1–20 rpm; up to 500 °C
Gas controllers	3 MFCs; 0–200 sccm, N2 calibrated

قد تتغير المواصفات حسب التكوين والتخصيص. تخضع البيانات النهائية للعرض المؤكد.

اتصال فني مباشر

Email [email protected] WhatsApp +86 15038179437 WeChat 195 2233 7956

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.

استفسار المنتج