UNIPOL-1203 Two-Station 300 mm Automatic CMP Polisher with Slurry Feeding
UNIPOL-1203 combines two independently controlled workstations with a 300 mm stainless-steel polishing plate and automatic slurry delivery. Touchscreen settings coordinate platen motion and polishing duration for laboratory CMP work.
- Configuración final confirmada antes de cotizar
- Personalización y accesorios revisados según la aplicación
- Embalaje de exportación y documentación disponibles bajo solicitud
- Laboratory chemical-mechanical polishing
- Wafer and crystal substrate surface preparation
Características clave del producto
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Two individually controlled workstations
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Automatic slurry feed with adjustable delivery
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Optional precision fixture for samples up to 100 mm
Especificaciones técnicas
Las especificaciones se organizan por sistema para que diferentes tipos de equipos presenten los parámetros relevantes para su aplicación.
Key specifications
| Polishing plate | 300 mm diameter, stainless steel |
|---|---|
| Plate speed | 1–240 rpm |
| Workstations | 2 |
| Holder / conditioning ring | 105 mm holder; 127.5 mm ring diameter |
| Plate run-out | Less than 5 µm |
| Slurry capacity | Approximately 3.8 L |
| Feeder particle-size limit | Less than 40 µm |
| Optional fixture sample limits | 100 mm maximum diameter; 12 mm maximum thickness |
| Power supply | 208–240 V AC, 50 Hz, 450 W |
| Base-machine dimensions | 550 x 700 x 420 mm, excluding optional accessories |
| Net weight | 74 kg |
Las especificaciones pueden cambiar según configuración y personalización. Los datos finales están sujetos a la cotización confirmada.
The 100 mm sample capability refers to the optional precision fixture. Select a slurry with particle size below the stated feeder limit and confirm material compatibility.
Images may show optional accessories. Confirm voltage, holders, consumables and included items in the final quotation.
Para compradores internacionales, la confirmación puede incluir configuración, accesorios, embalaje, documentos de exportación, fotos o videos de inspección y términos de envío.







