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Equipamentos de desbaste e polimento para laboratório

UNIPOL-1203 Two-Station 300 mm Automatic CMP Polisher with Slurry Feeding

ModeloUNIPOL-1203

UNIPOL-1203 combines two independently controlled workstations with a 300 mm stainless-steel polishing plate and automatic slurry delivery. Touchscreen settings coordinate platen motion and polishing duration for laboratory CMP work.

Polishing plate 300 mm diameter, stainless steel
Plate speed 1–240 rpm
Workstations 2
  • Configuração final confirmada antes da cotação
  • Personalização e acessórios revisados pela aplicação
  • Embalagem de exportação e documentação disponíveis sob solicitação
Aplicações típicas
  • Laboratory chemical-mechanical polishing
  • Wafer and crystal substrate surface preparation
Recursos do equipamento

Principais recursos do produto

  • Two individually controlled workstations

  • Automatic slurry feed with adjustable delivery

  • Optional precision fixture for samples up to 100 mm

Dados técnicos

Especificações técnicas

As especificações são organizadas por sistema para que diferentes tipos de equipamento apresentem os parâmetros relevantes para sua aplicação.

Key specifications

Polishing plate 300 mm diameter, stainless steel
Plate speed 1–240 rpm
Workstations 2
Holder / conditioning ring 105 mm holder; 127.5 mm ring diameter
Plate run-out Less than 5 µm
Slurry capacity Approximately 3.8 L
Feeder particle-size limit Less than 40 µm
Optional fixture sample limits 100 mm maximum diameter; 12 mm maximum thickness
Power supply 208–240 V AC, 50 Hz, 450 W
Base-machine dimensions 550 x 700 x 420 mm, excluding optional accessories
Net weight 74 kg

As especificações podem mudar conforme configuração e personalização. Os dados finais dependem da cotação confirmada.

The 100 mm sample capability refers to the optional precision fixture. Select a slurry with particle size below the stated feeder limit and confirm material compatibility.

Images may show optional accessories. Confirm voltage, holders, consumables and included items in the final quotation.