UNIPOL-1203 Two-Station 300 mm Automatic CMP Polisher with Slurry Feeding
UNIPOL-1203 combines two independently controlled workstations with a 300 mm stainless-steel polishing plate and automatic slurry delivery. Touchscreen settings coordinate platen motion and polishing duration for laboratory CMP work.
- يتم تأكيد التكوين النهائي قبل عرض السعر
- تتم مراجعة التخصيص والملحقات حسب التطبيق
- تتوفر تعبئة التصدير والوثائق عند الطلب
- Laboratory chemical-mechanical polishing
- Wafer and crystal substrate surface preparation
ميزات المنتج الرئيسية
-
Two individually controlled workstations
-
Automatic slurry feed with adjustable delivery
-
Optional precision fixture for samples up to 100 mm
المواصفات الفنية
تُنظم المواصفات حسب النظام حتى تعرض أنواع المعدات المختلفة المعايير المهمة لتطبيقها.
Key specifications
| Polishing plate | 300 mm diameter, stainless steel |
|---|---|
| Plate speed | 1–240 rpm |
| Workstations | 2 |
| Holder / conditioning ring | 105 mm holder; 127.5 mm ring diameter |
| Plate run-out | Less than 5 µm |
| Slurry capacity | Approximately 3.8 L |
| Feeder particle-size limit | Less than 40 µm |
| Optional fixture sample limits | 100 mm maximum diameter; 12 mm maximum thickness |
| Power supply | 208–240 V AC, 50 Hz, 450 W |
| Base-machine dimensions | 550 x 700 x 420 mm, excluding optional accessories |
| Net weight | 74 kg |
قد تتغير المواصفات حسب التكوين والتخصيص. تخضع البيانات النهائية للعرض المؤكد.
The 100 mm sample capability refers to the optional precision fixture. Select a slurry with particle size below the stated feeder limit and confirm material compatibility.
Images may show optional accessories. Confirm voltage, holders, consumables and included items in the final quotation.
للمشترين الدوليين، يمكن أن يشمل تأكيد العرض التكوين والملحقات وطريقة التعبئة ومستندات التصدير وصور أو فيديو الفحص وشروط الشحن.







