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Dünnschichtbeschichtungsanlagen

VTC-150-H Hybrid PVD/CVD Coating Platform with Vertical Furnace

ModellVTC-150-H

A vertical tube-furnace platform integrates magnetron sputtering with a rotating sample holder for combined deposition studies.

Furnace temperature rating 1100 °C
Tube diameter 5 in
Sputtering head 1 in; water cooled
  • Endkonfiguration vor Angebot bestätigt
  • Anpassung und Zubehör nach Anwendung geprüft
  • Exportverpackung und Dokumentation auf Anfrage verfügbar
Gerätemerkmale

Wichtige Produktmerkmale

  • Furnace temperature rating: 1100 °C

  • Tube diameter: 5 in

  • Sputtering head: 1 in; water cooled

Technische Daten

Technische Spezifikationen

Spezifikationen sind nach System organisiert, damit unterschiedliche Gerätetypen die für ihre Anwendung relevanten Parameter darstellen können.

Key specifications

Furnace temperature rating 1100 °C
Tube diameter 5 in
Sputtering head 1 in; water cooled
Target distance 60–100 mm
Sample holder 3 in diameter; 1–10 rpm
Electrical supply 208–240 V AC, 50/60 Hz; 3000 W

Spezifikationen können sich je nach Konfiguration und Anpassung ändern. Endgültige Daten unterliegen dem bestätigten Angebot.

Confirm target materials, substrate dimensions, power sources, vacuum pumps, cooling and gas requirements with LabSova. Optional components and laboratory utilities must be specified separately.